[发明专利]基于微机械硅基悬臂梁的相位检测器及检测方法有效
| 申请号： | 201210204640.5 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102735935A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;华迪 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R25/00 | 分类号： | G01R25/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微机械硅基悬臂梁的相位检测器和检测方法，该相位检测器包括硅衬底（1），生长在硅衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，在源极（2）或漏极（3）的外侧设有悬臂梁锚区（6），跨接在源极（2）和漏极（3）之间的栅氧化层（4），设置在栅氧化层（4）表面的栅极（5）。该方法包括如下步骤：当在下拉电极（8）上加载直流偏置时，悬臂梁（7）被下拉且与栅极（5）接触时，两个频率相同而存在一定相位差的微波信号同时加载到栅极（5）上，漏极（3）饱和电流通过隔直电容和低通滤波器，滤去高频信号，得到相位差信息的电流信号。本发明结构简单，易于测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 械硅基 悬臂梁 相位 检测器 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微机械硅基悬臂梁的相位检测器，其特征在于：该相位检测器包括硅衬底（1），生长在硅衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，在源极（2）或漏极（3）的外侧设有悬臂梁锚区（6），跨接在源极（2）和漏极（3）之间的栅氧化层（4），设置在栅氧化层（4）表面的栅极（5），设置在在该栅极（5）上方且与栅极（5）相对的悬臂梁（7），悬臂梁（7）的一端与悬臂梁锚区（6）相连； 在栅极（5）远离固定梁锚区（6）的一侧设有下拉电极（8），下拉电极（8）被绝缘介质层（12）覆盖；源极（2）接地，漏极（3）接正电压；参考信号加载在的栅极（5）上，待测信号加载在悬臂梁（7）上。
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