[发明专利]涂层界面弱结合强度测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种涂层界面弱结合强度测量方法及装置，涉及激光检测技术领域，特指基于激光诱导冲击波的涂层界面弱结合强度测量方法和装置。本发明射激光束经凸透镜聚焦，在凸透镜焦点处对空气进行烧蚀形成激光诱导冲击波，激光诱导冲击波面向测量对象传播；待激光诱导冲击波与测量对象相互作用结束后形成圆形区域，测量圆形区域直径，结合凸透镜焦点与测量对象所在平面的垂直距离，获得凸透镜焦点到圆形区域边界的距离；进一步获得该处激光诱导冲击波的压强，此压强来表征测量对象的弱结合强度。本发明实现了对涂层界面弱结合强度定量的测量；本发明所用装置结构简单，体积小，很容易的布置在测量对象周围，且装卸方便。

主权项

1.涂层界面弱结合强度测量方法，其特征是，具体步骤如下：A）开启激光器（20），发射出激光束经凸透镜（22）聚焦后，在凸透镜焦点（23）处对空气进行烧蚀，形成激光诱导冲击波面向测量对象（10）传播；B）激光诱导冲击波与测量对象（10）相互作用结束后，在测量对象（10）上形成圆形区域（11），凸透镜焦点（23）与测量对象（10）所在平面的垂足即为该圆形区域（11）的圆心，测量圆形区域（11）的直径为，结合凸透镜焦点（23）与测量对象（10）所在平面的垂直距离，获得凸透镜焦点（23）到圆形区域（11）边界的距离；3）使用分光镜（21）、光电二极管（24）、声发射传感器（25）和示波器（26）来获得激光诱导冲击波从凸透镜焦点（23）处传播到距离处的时间，进一步获得激光诱导冲击波传播的速度，结合公式获得激光诱导冲击波在距离处的压强，以此压强来表征测量对象（10）界面的弱结合强度，式中空气的绝热指数，常温下声速，为一个标准大气压。