[发明专利]涂层界面弱结合强度测量方法及装置

权利要求书

1.涂层界面弱结合强度测量方法，其特征是，具体步骤如下：

A）开启激光器（20），发射出激光束经凸透镜（22）聚焦后，在凸透镜焦点（23）处对空气进行烧蚀，形成激光诱导冲击波面向测量对象（10）传播；

B）激光诱导冲击波与测量对象（10）相互作用结束后，在测量对象（10）上形成圆形区域（11），凸透镜焦点（23）与测量对象（10）所在平面的垂足即为该圆形区域（11）的圆心，测量圆形区域（11）的直径为                                               ，结合凸透镜焦点（23）与测量对象（10）所在平面的垂直距离，获得凸透镜焦点（23）到圆形区域（11）边界的距离；

3）使用分光镜（21）、光电二极管（24）、声发射传感器（25）和示波器（26）来获得激光诱导冲击波从凸透镜焦点（23）处传播到距离处的时间，进一步获得激光诱导冲击波传播的速度，结合公式获得激光诱导冲击波在距离处的压强，以此压强来表征测量对象（10）界面的弱结合强度，式中空气的绝热指数，常温下声速，为一个标准大气压。

2. 实施权利要求1所述的涂层界面弱结合强度测量方法的装置，其特征是，包括激光器（20）、分光镜（21）、凸透镜（22）、光电二极管（24）、声发射传感器（25）、示波器（26）、信号线和测量对象（10）；在激光器（20）输出光路上依次放置分光镜（21）、凸透镜（22），所述分光镜（21）于激光器（20）输出光路夹角为45度；在所述分光镜（21）反射的触发光路上放置光电二极管（24），所述光电二极管（24）的接收口正对分光镜（21）并与激光器（20）输出光路垂直，所述光电二极管（24）和分光镜（21）之间的距离等于分光镜（21）和凸透镜焦点（23）之间的距离，所述光电二极管（24）通过信号线连接示波器（26）；所述声发射传感器（25）和凸透镜焦点（23）距离等于，所述声发射传感器（25）通过信号线连接示波器（26）。

3. 根据权利要求2所述的涂层界面弱结合强度测量装置，其特征在于，所述激光器（20）脉宽10ns，输出频率为1HZ-5HZ。

4. 根据权利要求2所述的涂层界面弱结合强度测量装置，其特征在于，所述凸透镜（22）焦距为3cm-5cm。

5. 根据权利要求2所述的涂层界面弱结合强度测量装置，其特征在于，所述声发射传感器（26）谐振频率为150KHZ。