[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种即使对于大型基板，也能够得到均匀的等离子体分布的感应耦合等离子体处理装置。在处理室（4）的上方隔着电介质壁（2），具有高频天线（13），其包括，在处理室（4）内，主要在外侧部分形成感应电场的外侧天线部（13a）、主要在内侧部分形成感应电场的内侧天线部（13b）、和在它们中间部分形成感应电场的中间天线部（13c），在外侧天线部（13a）和中间天线部（13c）分别连接有控制感应耦合等离子体的等离子体密度分布的可变电容器（21a、21c）。各天线部，构成螺旋状的多重天线，而且，在其配置区域按照能够形成均匀电场的方式设定缠绕方法，按照在各天线部的配置区域间能够实现电场的均匀化的方式设定缠绕数目。

主权项

一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：收容被处理体并实施等离子体处理的处理室；在所述处理室内载置被处理体的载置台；高频天线，其经由电介质部件配置在所述处理室的外部，所述高频天线通过供给高频电力在所述处理室内形成感应电场，至少同心状地配置有内侧天线部、该内侧天线部的外侧的中间天线部、和该中间天线部的外侧的外侧天线部而形成；和阻抗调节单元，与包含所述内侧天线部的内侧天线电路、包含所述中间天线部的中间天线电路和包含所述外侧天线部的外侧天线电路中的至少一个连接而调节阻抗，由此对所述内侧天线部、所述中间天线部和所述外侧天线部的电流值进行控制，以所述外侧天线部的缠绕数目比所述中间天线部的缠绕数目少，所述中间天线部的缠绕数目比所述内侧天线部的缠绕数目少的方式，分别构成多根天线电缆涡旋状地配置而成的多重天线。