[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

权利要求书

1.一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：

收容被处理体并实施等离子体处理的处理室；

在所述处理室内载置被处理体的载置台；

高频天线，其经由电介质部件配置在所述处理室的外部，所述高频天线通过供给高频电力在所述处理室内形成感应电场，至少同心状地配置有内侧天线部、该内侧天线部的外侧的中间天线部、和该中间天线部的外侧的外侧天线部而形成；和

阻抗调节单元，与包含所述内侧天线部的内侧天线电路、包含所述中间天线部的中间天线电路和包含所述外侧天线部的外侧天线电路中的至少一个连接而调节阻抗，由此对所述内侧天线部、所述中间天线部和所述外侧天线部的电流值进行控制，

以所述外侧天线部的缠绕数目比所述中间天线部的缠绕数目少，所述中间天线部的缠绕数目比所述内侧天线部的缠绕数目少的方式，分别构成多根天线电缆涡旋状地配置而成的多重天线。

2.如权利要求1所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

以所述内侧天线部、所述中间天线部和所述外侧天线部呈大致矩形形状的方式配置天线电缆，所述内侧天线部、所述中间天线部和所述外侧天线部中的至少一个，在大致矩形形状的各边的中央部，以缠绕数目比其他的部分的缠绕数目少的方式设定缠绕方法的形态。

3.如权利要求1所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述阻抗调节单元具有可变电容器。

4.如权利要求1至3中任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

在所述外侧天线部的更外侧，以与外侧天线部的缠绕数目相比缠绕数目朝向外侧依次变少的方式设置有1个或者2个以上的天线部。