[发明专利]一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏无效
| 申请号： | 201210196897.0 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102691099A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 承刚;李京波;李永涛;董珊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏，该多层结构内隔热屏整体呈圆筒形，包括自上而下依次连接的上隔热层、中隔热层和下隔热层，其中上隔热层与下隔热层位于晶体炉的低温区，中隔热层位于晶体炉的高温区。本发明由于采用了三个独立的圆筒设计，使晶体炉中的高温区全部位于中隔热层，因此上下隔热层几乎不发生损耗，因此每次只需替换中隔热层损坏的部分即可，从而减少了整个内隔热层替换的工作量，提高了工作效率，更重要的是每次只替换整个隔热层的40％，大大降低了每炉蓝宝石晶体生长的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 泡生法 蓝宝石 晶体 多层 结构 隔热 | ||
【主权项】：
一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏，其特征在于，该多层结构内隔热屏整体呈圆筒形，包括自上而下依次连接的上隔热层(1)、中隔热层(2)和下隔热层(3)，其中上隔热层(1)与下隔热层(3)位于晶体炉的低温区，中隔热层(2)位于晶体炉的高温区。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210196897.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单螺杆空气压缩机
- 下一篇：用于传送玻璃基板的滚轮
