[发明专利]一种背面对准装置及背面对准基底贴片方法有效
| 申请号： | 201210195584.3 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103488064A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 张俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种背面对准装置，包括对准光源、对准物镜，支撑基底的卡盘，所述基底背面设有对准标记，以及贴附于所述基底背面的附着层，其特征在于，所述附着层在对应于所述基底的背面对准标记的位置处设置有开口以露出所述对准标记，所述对准光源发出的光穿过该开口直接入射至所述基底的背面的对准标记上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背面 对准 装置 基底 方法 | ||
【主权项】：
一种背面对准装置，包括对准光源、对准物镜，支撑基底的卡盘，所述基底背面设有对准标记，以及贴附于所述基底背面的附着层，其特征在于，所述附着层在对应于所述基底的背面对准标记的位置处设置有开口以露出所述对准标记，所述对准光源发出的光穿过该开口直接入射至所述基底的背面的对准标记上。
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