[发明专利]一种改进的高热导率电子封装材料制备方法无效
申请号: | 201210192283.5 | 申请日: | 2012-06-12 |
公开(公告)号: | CN102701741A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 徐亚红 | 申请(专利权)人: | 徐亚红 |
主分类号: | C04B35/52 | 分类号: | C04B35/52;C04B35/64;C04B35/63;C04B35/622 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 312500 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种改进的高热导率电子封装材料制备方法,包括下述步骤:1)选择金刚石和硅粉作为初始材料,并且添加钛粉和氮化铝作为烧结促进剂;2)将上述组分充分混合均匀后;3)选择φ20mm的石墨模具,将上述混合物装入石墨容器并放入放电等离子烧结炉;4)在放电等离子烧结炉抽真空,当真空度达到12~15Pa以下开始快速烧结;5)烧结过程中所加压力为35~39MPa,升温速度为80~120℃/分钟,烧结温度设定为1280~1320℃,达到烧结温度后保持4~5分钟,并在真空或惰性气体环境下烧结;6)烧结结束后对产品进行随炉冷却并在900-950℃时卸掉压力。其具有设备和工艺简单、合成温度低,并且最大程度地提高产品致密度、减少产品微裂纹,产品的综合性能良好。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进 高热 电子 封装 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种改进的高热导率电子封装材料制备方法,其特征在于,该方法包括下述步骤: 1)选择粒度为18~23μm的金刚石,粒度为40~45μm、纯度在99. 99%的硅粉作为初始材料,并且添加钛粉和氮化铝作为烧结促进剂;金刚石、硅粉、钛粉、氮化铝的重量份数比为19.6~30.4:27.2~33.3:0.53~0.93:0.5~1.3;2)将上述组分充分混合均匀后;3)选择φ20 mm的石墨模具,将上述混合物装入石墨容器并放入放电等离子烧结炉; 4)在放电等离子烧结炉抽真空,当真空度达到12~15Pa以下开始快速烧结;5)烧结过程中所加压力为35~39MPa,升温速度为80~120℃/分钟,烧结温度设定为1280~1320℃,达到烧结温度后保持4‑5分钟,并在真空或惰性气体环境下烧结; 6)烧结结束后对产品进行随炉冷却并在900‑950℃时卸掉压力,得到产品。
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