[发明专利]一种静电消除装置及卡匣有效
申请号: | 201210174035.8 | 申请日: | 2012-05-30 |
公开(公告)号: | CN102740578A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 李贤德;吴俊豪;林昆贤;朱二庆;齐明虎;杨卫兵 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H05F3/04 | 分类号: | H05F3/04 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦;丁建春 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种静电消除装置,用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电,该静电消除装置包括旋转轴及静电消除器,该旋转轴设于该玻璃基板的卡匣外侧,该静电消除器与该旋转轴固定连接;该旋转轴受驱动旋转,带动该静电消除器绕该旋转轴在一定角度内反复旋转,同时喷洒离子至装载于该卡匣内的该玻璃基板表面,彻底去除该玻璃基板表面静电,不存在盲点和死角。本发明的静电消除装置具有结构简单、低耗高效、成本低廉、静电消除效率高的特点,适用于任意规格的玻璃基板的静电消除。本发明还提供一种装配有该静电消除装置的卡匣。 | ||
搜索关键词: | 一种 静电 消除 装置 | ||
【主权项】:
一种静电消除装置,用于消除大尺寸玻璃基板表面的静电,其特征在于,包括:旋转轴,所述旋转轴设于所述玻璃基板的卡匣外侧;静电消除器,所述静电消除器与所述旋转轴固定连接;其中,所述旋转轴受驱动旋转,带动所述静电消除器绕所述旋转轴在一定角度内往复旋转。
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