[发明专利]物理量检测器的制造方法、物理量检测器有效
| 申请号： | 201210169606.9 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102809669A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 渡边润;中仙道和之;龟田高弘 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;孙丽梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种物理量检测器的制造方法，其特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部；平板状的可动部，其被配置于该基座部的内侧，且一个端部经由连接部而与所述基座部相连接；物理量检测元件，其跨越所述连接部而被架设于所述基座部和所述可动部上，所述物理量检测器的制造方法包括：以一体的方式形成所述基座部、所述连接部、所述可动部以及连结部的工序，其中，所述连结部被设置在该可动部的、作为自由端的另一个端部侧，并连接所述基座部与所述可动部；将所述物理量检测元件架设并固定在所述基座部与所述可动部上的工序；将切断所述连结部的工序。
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