[发明专利]多平台系统、用于多平台系统的控制方法以及光刻设备

摘要

本发明公开了一种多平台系统、用于多平台系统的控制方法以及光刻设备。多平台系统包括：定子，基本上平行于第一方向延伸；第一和第二平台，相对于定子是可移动的，这些平台设置有磁体系统用以产生磁场；和定子，设置有绕组用以与磁场相互作用以相对于定子定位平台，所述方法包括步骤：确定平台的位置；选择能够分别具有与第一和第二平台的磁场的不可忽略的相互作用的电绕组的第一和第二子组；激励两个子组的绕组，其中激励绕组包括：确定同时为两个子组的一部分的绕组；和排除同时为两个子组的一部分的绕组使其不受激励。

主权项

一种多平台系统，包括：定子，基本上平行于第一方向延伸；第一平台，相对于定子沿第一方向是可移动的；第二平台，相对于定子沿第一方向是可移动的；其中第一平台和第二平台中每一个设置有磁体系统以产生磁场，其中定子设置有多个电绕组，所述电绕组配置成与由第一平台和第二平台的磁体系统产生的磁场相互作用以便产生对第一平台和第二平台的力以相对于定子定位它们，传感器，配置成相对于定子确定第一平台和第二平台的位置；控制器，配置成沿第一方向相对于定子定位第一平台和第二平台，其中控制器配置成：基于传感器的输出确定第一平台在第一方向上相对于定子的位置；选择电绕组的第一子组，所述电绕组的第一子组能够具有与在所确定的第一平台位置处的第一平台的磁体系统的磁场的不可忽略的相互作用；基于传感器的输出确定第二平台相对于定子在第一方向上的位置；选择电绕组的第二子组，所述电绕组的第二子组能够具有与在所确定的第二平台位置处的第二平台的磁体系统的磁场的不可忽略的相互作用；和激励第一子组和第二子组中的电绕组以便相对于定子定位第一平台和第二平台，其中控制器配置成在激励第一子组和第二子组中的电绕组之前进行如下步骤：确定作为第一子组的一部分且作为第二子组的一部分的电绕组；和排除作为第一子组的一部分且作为第二子组的一部分的至少一个电 绕组使其不受激励。