[发明专利]LED衬底的剥离方法有效
| 申请号： | 201210156091.9 | 申请日： | 2012-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102664221A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 高耀辉;张昊翔;封飞飞;金豫浙;万远涛;李东昇;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B23K26/00;B23K26/073 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LED衬底的剥离方法，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；将所述外延层贴合至转移衬底；采用飞秒激光系统对所述LED衬底中的衬底进行减薄，其中所述飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦在所述衬底内，聚焦形成的光斑为线状光斑且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用物理化学抛光将剩余的衬底去除，暴露出所述外延层。本发明能够避免剥离过程中产生的热量对外延层的损伤，有利于提高生产良率并改善出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | led 衬底 剥离 方法 | ||
【主权项】：
一种LED衬底的剥离方法，其特征在于，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；将所述外延层贴合至转移衬底；采用飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦为线状光斑，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底的衬底内且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用所述线状光斑对所述衬底进行扫描，以对所述衬底进行初次减薄；采用物理化学抛光将剩余的衬底去除，暴露出所述外延层。
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