[发明专利]用于控制ExBWien过滤器中磁场分布的方法和结构有效
申请号: | 201210155278.7 | 申请日: | 2012-05-18 |
公开(公告)号: | CN102789948B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | J.B.麦金 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | H01J37/141 | 分类号: | H01J37/141;H01J37/244 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 马永利,李浩 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及用于控制ExB Wien过滤器中磁场分布的方法和结构。一种ExB Wien滤质器提供用于机械调整在滤质器入口和出口端帽的磁场分布的方法和结构。可以通过在入口和出口端帽的外径的缝隙内配置多个磁垫片并且也通过在包围入口和出口孔的圆形通量坝内配置多个磁塞垫片来修改通量返回路径的磁阻。本发明的用于磁场的纯机械调整与现有技术的电磁体调整方法比较的优点包括更大可靠性、简单性、更低成本和无功率耗散。本发明可以将永磁体或者电磁体用于生成质量分离磁场。 | ||
搜索关键词: | 用于 控制 exbwien 过滤器 磁场 分布 方法 结构 | ||
【主权项】:
一种带电粒子束滤质器,包括:一组电极,用于在所述滤质器内提供电场;一组磁体,用于在所述滤质器内提供磁通量,所述磁通量与所述电场垂直;磁轭,支撑所述电极和磁体,所述磁轭提供用于所述磁通量的返回路径;入口端帽,包括用于所述束进入所述滤质器的入口孔和在所述入口端帽与所述磁轭之间的机械可调整磁阻;以及出口端帽,包括用于所述束退出所述滤质器的出口孔和在所述出口端帽与所述磁轭之间的机械可调整磁阻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司,未经FEI公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210155278.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:UV灯固定工装
- 下一篇:一种改进的教学用挂图架