[发明专利]一种六自由度磁浮微动台

摘要

本发明涉及一种六自由度磁浮微动台，包括布置在微动台动子基板的两自由度电磁力驱动单元，驱动微动台实现X、Y、Z、θx、θy、θz6个自由度的运动。每个两自由度电磁力驱动单元包括粘接永磁体、竖直向、水平环绕线圈，粘接永磁体由三块磁化方向不同的永磁体粘接而成，固定在正方形托盘底部；竖直向线圈提供垂向力，水平环绕线圈提供水平力，二者都固定在定子上。本发明线圈部分磁通密度大，磁感线方向、电流方向、目标推力方向相互正交，使其在单位电流下获得较大推力，由电磁力直接驱动，不存在机械摩擦，具有较高的位移分辨率，而且结构简单、紧凑，易于安装调试，可用于在微米行程实现纳米级定位的超精密加工和半导体制造中。

主权项

一种六自由度磁浮微动台，其特征在于，它包括微动台动子基板和至少三个两自由度电磁力驱动单元，每组两自由度电磁力驱动单元包含1个粘接永磁体、1个水平环绕线圈和1个竖直向线圈，粘接永磁体固定在动子基板上，水平环绕线圈和竖直向线圈固定在定子基座上；所有水平环绕线圈综合实现微动台动子在水平面内X、Y、θz三个自由度的运动，所有竖直向线圈综合实现微动台动子的悬浮和Z、θx、θy三个自由度的运动；所述两自由度电磁力驱动单元在微动台动子基板（1）上布置形式为：在以微动台动子基板（1）几何中心为圆心的一个圆上等角度间隔布置，并使粘接永磁体（2）粘接面方向垂直或平行于微动台动子基板（1）几何中心到粘接永磁体（2）的连线，或粘接永磁体（2）粘接面方向与微动台动子基板（1）几何中心到粘接永磁体（2）的连线方向呈一个同向同大小的旋转角度。