[发明专利]内外腔混合非线性频率变换紫外激光器

摘要

一种内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，包括：泵浦源、传能光纤、聚焦耦合系统、激光全反射镜、增益介质晶体、Q开关和激光输出镜，还包括：谐波镜、二倍频晶体、聚焦镜和三倍频晶体；泵浦源输出的泵浦光经过传能光纤和聚焦耦合系统传输至增益介质晶体，使激光在由激光全反射镜和激光输出镜构成的基频光谐振腔中振荡，并在Q开关的调制作用下产生脉冲的基频光，基频光每次经过基频光谐振腔内的二倍频晶体时都会产生倍频光，倍频光和基频光经过聚焦镜后被聚焦到三倍频晶体中，并产生三倍频激光。利用腔内二倍频，腔外三倍频，利用了腔内基频光的高功率密度，提高了倍频过程的转换率，而三倍频过程在谐振腔外保证了系统的长期稳定性。

主权项

一种内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，包括：泵浦源(1)、传能光纤(2)、聚焦耦合系统(3)、激光全反射镜(4)、增益介质晶体(5)、Q开关(6)和激光输出镜(9)，其特征在于：还包括：谐波镜(7)、二倍频晶体(8)、聚焦镜(10)和三倍频晶体(11)；激光全反射镜(4)和激光输出镜(9)构成基频光谐振腔，泵浦源(1)输出的泵浦光经过传能光纤(2)和聚焦耦合系统(3)传输至增益介质晶体，在对增益介质晶体的抽运条件下，使激光在由激光全反射镜和激光输出镜构成的基频光谐振腔中振荡，并在Q开关(6)的调制作用下产生脉冲的基频光，二倍频晶体(8)设置在基频光谐振腔内，基频光每次经过二倍频晶体(8)时都会产生倍频光，前向倍频光由激光输出镜(9)直接输出，后向倍频光经由谐波镜(7)反射后也由激光输出镜(9)输出，激光输出镜同时镀有对基频光部分透射和对倍频光增透的膜系，倍频光和基频光经过聚焦镜(10)后被聚焦到三倍频晶体(11)中，并产生三倍频激光。