[发明专利]内外腔混合非线性频率变换紫外激光器

权利要求书

1.一种内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，包括：泵浦源(1)、传能光纤(2)、聚焦耦合系统(3)、激光全反射镜(4)、增益介质晶体(5)、Q开关(6)和激光输出镜(9)，其特征在于：还包括：谐波镜(7)、二倍频晶体(8)、聚焦镜(10)和三倍频晶体(11)；激光全反射镜(4)和激光输出镜(9)构成基频光谐振腔，泵浦源(1)输出的泵浦光经过传能光纤(2)和聚焦耦合系统(3)传输至增益介质晶体，在对增益介质晶体的抽运条件下，使激光在由激光全反射镜和激光输出镜构成的基频光谐振腔中振荡，并在Q开关(6)的调制作用下产生脉冲的基频光，二倍频晶体(8)设置在基频光谐振腔内，基频光每次经过二倍频晶体(8)时都会产生倍频光，前向倍频光由激光输出镜(9)直接输出，后向倍频光经由谐波镜(7)反射后也由激光输出镜(9)输出，激光输出镜同时镀有对基频光部分透射和对倍频光增透的膜系，倍频光和基频光经过聚焦镜(10)后被聚焦到三倍频晶体(11)中，并产生三倍频激光。

2.根据权利要求1所述的内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，其特征在于：激光泵浦源的中心波长为808nm、880nm、885nm、888nm、914nm、938nm或946nm之中的任一种。

3.根据权利要求1所述的内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，其特征在于：增益介质晶体为Nd:YAG晶体、Nd:YVO₄晶体、Nd:GGG晶体、Nd:YLF晶体、Nd:GdVO₄晶体、Nd:YAP晶体或Nd:LuvO₄晶体之中的任一种。

4.根据权利要求1所述的内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，其特征在于：二倍频晶体(8)设置在由激光全反射镜(4)和激光输出镜(9)构成基频光谐振腔内，而三倍频晶体(11)设置在基频光谐振腔之外。

5.根据权利要求1所述的内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，其特征在于：二倍频晶体是KTP晶体、LBO晶体、BBO晶体、BIBO晶体或CLBO晶体之中的任一种。

6.根据权利要求1所述的内外腔混合非线性频率变换紫外激光器，其特征在于：三倍频晶体LBO晶体、BBO晶体、BIBO晶体或CLBO晶体之中的任一种。