[发明专利]具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器无效
| 申请号： | 201210135687.0 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102664347A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张祥伟;宁永强;秦莉;刘云;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，属于半导体光电子学技术领域，为对激光两个偏振方向的光进行偏振选择，对激射光束进行发散角的压缩，本发明提供具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，由上至下依次为：N面电极、衬底、缓冲层、N型分布布拉格反射镜组、有源区、氧化限制层、P型分布布拉格反射镜组和欧姆接触层，衬底上表面中间区制作出半导体光栅，衬底上表面两端生长N面电极，P型分布布拉格反射镜组上生长欧姆接触层，欧姆接触层中间区生长金属层，在金属层上制作出金属光栅，有源区至欧姆接触层的两侧生长钝化层，钝化层外侧生长P面电极，实现了高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器的模式控制。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 模式 控制 结构 功率 电泵外腔 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，由上至下依次为：N面电极（1）、衬底（2）、缓冲层（3）、N型分布布拉格反射镜组（4）、有源区（5）、氧化限制层（6）、P型分布布拉格反射镜组（7）和欧姆接触层（8），其特征在于，所述衬底（2）上表面中间区制作出半导体光栅（9），衬底（2）上表面两端生长N面电极（1），所述P型分布布拉格反射镜组（7）上生长欧姆接触层（8），所述欧姆接触层（8）中间区生长金属层，在金属层上制作出金属光栅（10），有源区（5）至欧姆接触层（8）的两侧生长钝化层（11），钝化层（11）外侧生长P面电极（12）。
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