[发明专利]用于真空电子器件的强流电子注能散测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201210132372.0 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103377864A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 阮存军;吴迅雷;李庆生;李崇山;李彦峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种强流电子注能散测量系统，包括真空腔体、二极铁电磁体、双狭缝铜体、YAG探测器和CCD图像采集器。真空腔体是扁平的且横截面呈矩形，其纵向与水平面平行；二极铁电磁体的两极分别安装在真空腔体的上下两面，以在真空腔体内产生垂直于水平面的均匀磁场；双狭缝铜体安装在真空腔体的内部，用于将强流电子注变成弱流电子注，并准直进入真空腔体；电子YAG探测器位于双狭缝铜体出射的电子注流偏转90度的方向上，用于探测电子注空间密度分布；CCD图像采集器用于捕捉YAG探测器上生成的电子能散图像。本发明可以测量几百至100k电子伏能量、导流系数在0.1至十几微朴的强流电子注的能散相对分辨率与能散曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 电子器件 流电 子注能散 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种强流电子注能散测量系统，其特征在于，包括一个真空腔体(101)、一个二极铁电磁体(201)、一个双狭缝铜体(301)、一个YAG探测器(401)和一个CCD图像采集器(501)；所述真空腔体(101)是一个扁平的且横截面呈矩形的真空腔体，其纵向与水平面平行，且由无磁金属材料制成，内部真空度为1×10‑6Pa数量级；所述二极铁电磁体(201)的两极分别安装在所述真空腔体(101)的上下两面，以在所述真空腔体(101)内产生垂直于水平面的均匀磁场；所述双狭缝铜体(301)安装在所述真空腔体(101)的内部，由无氧铜制成，用于将强流电子注变成弱流电子注，并准直进入真空腔体(101)；所述电子YAG探测器(401)位于所述双狭缝铜体(301)出射的电子注流偏转90度的方向上，其由掺入Ce元素的晶体制成，用于探测电子注空间密度分布；所述CCD图像采集器(501)位于正对着YAG探测器(401)的随动平台(9)上，用于捕捉YAG探测器(401)上生成的电子能散图像。
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