[发明专利]形成图案化蓝宝石基板的方法无效
| 申请号： | 201210128290.9 | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN103378227A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 吴伯仁 | 申请（专利权）人： | 南亚光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种形成图案化蓝宝石基板的方法，包含在蓝宝石基板上形成图案化的氧化铝层，之后对蓝宝石基板进行回火，其蓝宝石基板上的图案可以做的够深、够小。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 图案 蓝宝石 方法 | ||
【主权项】：
一种形成图案化蓝宝石基板的方法，包括下列步骤：在一蓝宝石基板上形成一图案化氧化铝层；以及对该蓝宝石基板进行回火。
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