[发明专利]气体过滤处理结构、尾气处理系统和相应气体处理方法无效
| 申请号： | 201210121524.7 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103071353A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 孙仁君;田益西 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体过滤处理结构、尾气处理系统、MOCVD设备的尾气处理方法、延长MOCVD设备的过滤器的使用寿命的方法，其中所述气体过滤处理结构包括弯管，所述弯管的一端与上游反应腔室相连接，另一端与带有滤芯的过滤器相连接，所述弯管的转弯处设置有预收集过滤部件，所述预收集过滤部件沿气体流动的方向设置，所述预收集过滤部件的一端与弯管相连接，另一端封闭，用于对气体中的颗粒进行预收集过滤处理。本发明延长了MOCVD设备的过滤器和滤芯的使用寿命，减少了因为清洁和更换过滤器及滤芯的停机时间，提高了MOCVD设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 过滤 处理 结构 尾气 系统 相应 方法 | ||
【主权项】：
一种气体过滤处理结构，包括弯管，所述弯管的一端与上游反应腔室相连接，另一端与带有滤芯的过滤器相连接，其特征在于，所述弯管的转弯处设置有预收集过滤部件，所述预收集过滤部件沿气体流动的方向设置，所述预收集过滤部件的一端与弯管相连接，另一端封闭，用于对气体中的颗粒进行预收集过滤处理。
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