[发明专利]具有密封结构的传感器器件有效
| 申请号： | 201210118992.9 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102749159B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 史蒂芬·R·胡珀;德怀特·L·丹尼尔斯;詹姆斯·D·麦克唐纳;威廉·G·麦克唐纳;春林·C·夏 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李宝泉;周亚荣 |
| 地址： | 美国,*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有密封结构的传感器器件。传感器器件包括传感器结构(102)，该传感器结构(102)包括具有在其上形成的感测装置的第一部分(108)，以及第二结构(106)。密封结构(104)被插入在传感器结构(102)和第二结构(106)之间，其中密封结构(104)包围传感器结构(102)的第一部分(108)。密封结构(104)建立在第一部分(108)的第一侧上的固定基准压力，并且第一部分(108)的相对侧暴露于环境压力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 密封 结构 传感器 器件 | ||
【主权项】：
一种传感器器件，包括：传感器结构，所述传感器结构包括具有在其上形成的感测装置的第一部分；第二结构，其中，所述第二结构包括具有在其上形成的控制电路的集成电路管芯，所述控制电路用于基于来自所述感测装置的电信号来确定指示环境压力的压力度量；以及密封结构，所述密封结构被插入在所述传感器结构和所述第二结构之间，所述密封结构包围所述传感器结构的所述第一部分以建立在所述第一部分的第一侧上的固定基准压力，其中所述第一部分的第二侧暴露于环境压力。
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