[发明专利]表面性状测量仪

摘要

本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中，测量臂(24)包括：第1测量臂(24A)，其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上；以及第2测量臂(24B)，其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端，在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B)；装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括：标尺(27A)，其配置在测量臂上；以及检测头，其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上；标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。

主权项

一种表面性状测量仪，其具有检测部件、用于载置被测量物的工作台以及用于使上述检测部件与上述工作台相对移动的相对移动机构，该检测部件具有：测量臂，其以支承轴为支点能够进行圆弧运动地支承在主体上；测针，其设置在该测量臂的顶端；位移检测器，其用于检测上述测量臂的圆弧运动量；以及壳体，其用于覆盖上述主体；该表面性状测量仪在使上述测针与被测量物的表面相接触的状态下，一边利用上述相对移动机构使上述检测部件与上述工作台相对移动，一边利用上述位移检测器检测上述测量臂的圆弧运动量，根据该圆弧运动量来测量被测量物的表面性状，其特征在于，上述测量臂包括：第1测量臂，其在上述壳体内以上述支承轴为支点能够摆动地支承在上述主体上；以及第2测量臂，其借助装卸机构以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端，在该第2测量臂的顶端具有上述测针；上述装卸机构配置在上述壳体内，上述位移检测器包括：标尺，其配置在上述主体与上述测量臂中的任意一者上；以及检测头，其以与上述标尺相对的方式配置在上述主体与上述测量臂中的另一者上；上述标尺的检测面配置在上述测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。