[发明专利]表面性状测量仪

权利要求书

1.一种表面性状测量仪，其具有检测部件、用于载置被测量物的工作台以及用于使上述检测部件与上述工作台相对移动的相对移动机构，该检测部件具有：测量臂，其以支承轴为支点能够进行圆弧运动地支承在主体上；测针，其设置在该测量臂的顶端；位移检测器，其用于检测上述测量臂的圆弧运动量；以及壳体，其用于覆盖上述主体；该表面性状测量仪在使上述测针与被测量物的表面相接触的状态下，一边利用上述相对移动机构使上述检测部件与上述工作台相对移动，一边利用上述位移检测器检测上述测量臂的圆弧运动量，根据该圆弧运动量来测量被测量物的表面性状，其特征在于，

上述测量臂包括：第1测量臂，其在上述壳体内以上述支承轴为支点能够摆动地支承在上述主体上；以及第2测量臂，其借助装卸机构以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端，在该第2测量臂的顶端具有上述测针；上述装卸机构配置在上述壳体内，

上述位移检测器包括：标尺，其配置在上述主体与上述测量臂中的任意一者上；以及检测头，其以与上述标尺相对的方式配置在上述主体与上述测量臂中的另一者上；上述标尺的检测面配置在上述测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。

2.根据权利要求1所述的表面性状测量仪，其特征在于，

上述装卸机构具有：第1板，其设置在上述第1测量臂的顶端；第2板，其设置在上述第2测量臂的基端；定位机构，其在使上述第2板与上述第1板相对时将上述第2板相对于上述第1板定位在规定的位置；磁体，其设置在上述第1板与上述第2板中的任意一者上；以及磁性体，其设置上述第1板与上述第2板中的另一者上，用于与上述磁体相吸附；

上述定位机构具有：第1就位部，其配置有一对圆柱状定位构件，该一对圆柱状定位构件沿着上述测量臂的轴向配置，该一对圆柱状定位构件相平行且隔开规定间隔；第2就位部，其配置有一对圆柱状定位构件并且第2就位部设置为在上述测量臂的轴向上与上述第1就位部分开，该一对圆柱状定位构件沿着上述测量臂的轴向配置，该一对圆柱状定位构件相平行且隔开规定间隔；第3就位部，其配置有一对圆柱状定位构件，该一对圆柱状定位构件与上述测量臂的轴向呈直角且该一对圆柱状定位构件隔开规定间隔；以及卡合球部，其设置为分别与该第1就位部、第2就位部及第3就位部相对应，并能够与这些就位部卡合、脱离；上述第1就位部、第2就位部及第3就位部配置在上述第1板与上述第2板中的任意一者上，上述卡合球部配置在上述第1板与上述第2板中的另一者上。

3.根据权利要求2所述的表面性状测量仪，其特征在于，

上述定位机构包括被形成在上述第1板与上述第2板中的一者上的至少两个卡合孔、以及配置在上述第1板与上述第2板中的另一者上的用于与上述各卡合孔相卡合的至少两个卡合销。

4.根据权利要求3所述的表面性状测量仪，其特征在于，

上述卡合销的突出量设定为在该卡合销开始与上述卡合孔卡合之后上述磁性体吸附在上述磁体上。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的表面性状测量仪，其特征在于，

用于构成上述各就位部的一对圆柱状定位构件及上述卡合球部由导电性材料形成，

在上述定位机构上形成有多个就位传感器，该多个就位传感器根据用于构成上述各就位部的一对圆柱状定位构件和用于与构成上述各就位部的一对圆柱状定位构件卡合脱离的卡合球部之间的接触、分开而接通断开，

该表面性状测量仪具有接触检测电路，该接触检测电路用于根据这些就位传感器的接通断开来检测构成上述各就位部的一对圆柱状定位构件和用于与构成上述各就位部的一对圆柱状定位构件卡合脱离的卡合球部之间的接触、分开。

6.根据权利要求5所述的表面性状测量仪，其特征在于，

该表面性状测量仪具有驱动停止部件，当在上述接触检测电路中检测到任意一个就位传感器断开的情况时，该驱动停止部件使上述相对移动机构的驱动停止。