[发明专利]亚波长自聚焦的径向偏振垂直腔面发射激光器及制备方法无效
| 申请号： | 201210112700.0 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102637999A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 宋国峰;蔡利康;王青;韦欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种亚波长自聚焦的径向偏振垂直腔面发射激光器，包括：一垂直腔面发射激光器，其一面制作有一P面电极，该P面电极的环形部分的中间为出光面；一N面电极，该N面电极制作在垂直腔面发射激光器的另一面；一介质膜，其制作在P面电极的出光面上；一环形光栅，其制作在介质膜上。本发明是通过亚波长环形金属光栅的偏振选择特性获得径向偏振输出，同时通过各环形槽的相干作用获得自聚焦亚波长光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 自聚焦 径向 偏振 垂直 发射 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种亚波长自聚焦的径向偏振垂直腔面发射激光器，包括：一垂直腔面发射激光器，其一面制作有一P面电极，该P面电极的环形部分的中间为出光面；一N面电极，该N面电极制作在垂直腔面发射激光器的另一面；一介质膜，其制作在P面电极的出光面上；一环形光栅，其制作在介质膜上。
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