[发明专利]光学测量装置和光学测量方法无效
| 申请号： | 201210105579.9 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102654465A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 郑媛;陈大志 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种光学测量装置和光学测量方法，用于测量透明基板。所述光学测量装置包括多个线型探测器，多个线型探测器沿平行于透明基板的第一方向延伸，分别用于对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探测；多个线型探测器与透明基板能沿平行于透明基板的第二方向相对运动，第二方向与第一方向不平行，以完成对透明基板的扫描；多个数据获取器，与多个线型探测器一一对应，用于获取线型探测器探测到的数据，形成与时间相关的探测数据；多个数据转换器，分别与多个数据获取器相连，通过分析与时间相关的探测数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。相应地，本发明还提供一种光学测量方法，本发明可以提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学测量装置，用于测量透明基板，其特征在于，包括：多个线型探测器，所述多个线型探测器沿平行于透明基板的第一方向延伸，分别用于对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探测；所述多个线型探测器与透明基板能沿平行于透明基板的第二方向相对运动，所述第二方向与第一方向不平行，以完成对所述透明基板的扫描；多个数据获取器，与所述多个线型探测器一一对应，用于获取线型探测器探测到的数据，形成与时间相关的探测数据；多个数据转换器，分别与所述多个数据获取器相连，通过分析所述与时间相关的探测数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。
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