[发明专利]机电换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210099693.5 | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102728534A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 虎岛和敏;秋山贵弘;冨吉俊夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李颖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及机电换能器及其制造方法。所述机电换能器包括：第一电极、被设置在第一电极上的硅氧化物膜、以及包含被设置于硅氧化物膜上使得其间具有间隙的硅氮化物膜和被设置于硅氮化物膜上以与第一电极相对的第二电极的振动膜。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种机电换能器，包括：第一电极；被设置于第一电极上的硅氧化物膜；和振动膜，包含硅氮化物膜和被设置于所述硅氮化物膜上以与第一电极相对的第二电极，所述硅氮化物膜被设置于所述硅氧化物膜上使得在所述硅氮化物膜和所述硅氧化物膜之间具有间隙。
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