[发明专利]双单元微机电系统组件

摘要

本发明提供双单元微机电系统组件，具体地提供一种利用至少两个MEMS换能器的换能器组件，该换能器组件优选地限定全向或定向麦克风其中之一。除了至少第一和第二MEMS换能器，该组件包括电气连接到MEMS换能器的信号处理电路、电气连接到信号处理电路的多个端子焊盘以及容放第一和第二MEMS换能器的换能器外壳。使用引线健合或倒装芯片设计，MEMS换能器可以电气连接到信号处理电路。信号处理电路可以包括分立电路或集成电路（IC）。第一和第二MEMS换能器可以与信号处理电路电气串联或并联连接。第一和第二MEMS换能器可以声学串联或并联耦合。

主权项

一种换能器封装，包括：至少第一MEMS换能器和第二MEMS换能器，其中所述第一MEMS换能器声学耦合到所述第二MEMS换能器；信号处理电路，其中所述第一和第二MEMS换能器电气连接到所述信号处理电路；多个端子焊盘，电气连接到所述信号处理电路；换能器外壳，所述换能器外壳容放所述第一和第二MEMS换能器。