[发明专利]全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管的制备方法，采用纳米压印技术在柔性基体表面构建出大面积银微网格电极阵列，再通过化学镀方法把微网格电极表面变得更加平整，同时进一步增加导电率。然后采用喷墨打印或气溶胶打印技术将半导体碳纳米管墨水沉积在沟道中，并通过打印技术制备侧栅和高电容介电层。该工艺相对简单，可大规模制备大面积的高性能全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管器件，且侧栅电极结构与传统的顶电极结构相比，可以消除顶电极与介电层之间的兼容性等问题，简化了晶体管的结构，为全印刷柔性逻辑电路的构建及相关应用的研究打下了坚实的基础。

主权项

一种全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括：(1)选取柔性衬底；(2)通过纳米压印技术在柔性衬底表面制作银微网格电极阵列，形成源、漏电极沟道；(3)在银微网格电极表面化学镀金属电极；(4)通过打印技术将碳纳米管墨水沉积在源、漏电极沟道中，形成碳纳米管薄膜；(5)通过印刷技术在源、漏电极的一侧制备栅电极；(6)通过打印技术在碳纳米管薄膜表面沉积介电层，所述介电层与栅电极相接触。