[发明专利]种子光注入的腔内倍频532nm单纵模激光器

摘要

一种种子光注入的腔内倍频532nm单纵模激光器，利用谐振探测方法获得了种子注入1064nm单频脉冲激光，并通过腔内倍频得到532nm的单纵模脉冲激光。激光谐振腔采用U形腔，采用两个高峰值功率的LD从端面泵浦激光晶体，利用高精度的TEC来给激光晶体控温，利用腔内LBO倍频得到绿光输出。本发明有着高效率、高能量、传导冷却、窄线宽、高频率稳定性、结构紧凑和工作稳定的特点。

主权项

一种种子光注入的腔内倍频532nm单纵模激光器装置，特征在于其结构包括腔外种子光路（1）、U形从动谐振腔（2）、电学控制处理（3）和腔内倍频（4）四部分：所述的腔外种子光路部分（1）依次由种子激光器（1‑1）、隔离器（1‑2）、半波片（1‑3）、第一1/4波片（1‑4）、耦合透镜组（1‑5、1‑6）、第一反射镜（1‑7）和第二反射镜（1‑8）组成；所述的U形从动谐振器腔部分（2）依次由后腔镜（2‑6）、调Q晶体（2‑7）、第二1/4波片（2‑8）、布儒斯特角起偏片（2‑9）、第三1/4波片（2‑10）、第一分光镜（2‑4）、增益介质（2‑5）、第二分光镜（2‑14）、第四1/4波片（2‑11）、补偿负透镜（2‑12）和前腔镜（2‑13）组成，该U形从动谐振腔中的增益介质（2‑5）采用双端泵浦，一端依次由第一泵浦源（2‑1）、第一泵浦耦合系统（2‑2和2‑3）和第一分光镜（2‑4）组成，另一端由第二泵浦源（2‑17）、第一泵浦耦合系统（2‑16和2‑15）和第二分光镜（2‑14）组成；第一分光镜（2‑4）和第二分光镜（2‑14）都是对808nm的泵浦光高透，并且对1064nm的振荡激光高反；所述的电学控制处理部分（3）由光电二极管（3‑1）、紧固于后腔镜（2‑6）的第一压电陶瓷（3‑2）、紧固于所述的全腔镜（2‑13）的第二压电陶瓷（3‑3）、压电陶瓷驱动电源（3‑4）和时序控制系统（3‑5）组成，所述的压电陶瓷驱动电源（3‑4）的输出端分别与第一压电陶瓷（3‑2）和第二压电陶瓷（3‑3）的输入端连接，所述的时序控制系统（3‑5）的输入端与所述的光电二极管（3‑1）的输出端相连，所述的时序控制系统（3‑5）的输出端分别与所述的压电陶瓷驱动电源（3‑4）的输入端、所述的调Q晶体KD*P（2‑8）的控制端、第一泵浦源（2‑1）和第二泵浦源（2‑14）的控制端相连接；所述的腔内倍频部分（4）由半波片（4‑1）、第一分光镜（4‑2）、倍频晶体（4‑3）和第二分光镜（4‑4）组成，所述的第一分光镜（4‑2）或第二分光镜（4‑4）为激光输出镜。