[发明专利]包括桥部的堆叠式声学谐振器有效
申请号: | 201210093059.0 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102739191A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 达利斯·布拉卡;亚历山大勒·施拉卡瓦;斯特凡·巴德 | 申请(专利权)人: | 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | 本发明涉及包括桥部的堆叠式声学谐振器。根据代表性实施例,体声波(BAW)谐振器结构包括:设置在衬底上的第一电极;设置在第一电极上的第一压电层;设置在第一压电层上的第二电极;设置在第二电极上的第二压电层;设置在第二压电层上的第三电极;和设置在第一电极和第三电极之间的桥部。 | ||
搜索关键词: | 包括 堆叠 声学 谐振器 | ||
【主权项】:
一种体声波(BAW)谐振器结构,包括:第一电极,其设置在衬底上;第一压电层,其设置在所述第一电极上;第二电极,其设置在所述第一压电层上;第二压电层,其设置在所述第二电极上;第三电极,其设置在所述第二压电层上;和桥部,其设置在所述第一电极和所述第三电极之间。
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