[发明专利]一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法。公知的该类型合成射流器采用湿法刻蚀技术，喷口的竖直剖面几何形状是两个尖角相对的锥形，加工难度大、射流能量低。本发明采用感应耦合等离子刻蚀将喷口加工在腔体侧璧并与之贯通，可同时加工出腔体、悬置膜片和喷口。喷口的水平截面轮廓为矩形、小端位于外壁的单锥形或者弧形，同时所述喷口的中心线垂直于腔体侧壁；或喷口中心线与腔体侧壁成45°；或喷口为两个，其水平截面均为矩形，两个喷口分别沿腔体前后侧壁伸出。由于同时加工出腔体、悬置膜片和喷口，提高了成品率，同时喷口侧置减小了器件阵列安装的面积，并将喷口水平截面轮廓加工为上述形状，有利于提高射流器的致动性能。

主权项

一种硅基微型侧喷口合成射流器，从上往下依次包括玻璃片9、硅基体10和驱动装置；硅基体10上的不贯穿孔形成腔体8；所述腔体8通过硅基体10侧壁上的喷口1与外界连通；硅基体10上腔体8的不贯穿部分形成悬置膜片2；驱动装置使得悬置膜片2产生振动；其特征在于：所述喷口1为非双锥形的侧喷口。