[发明专利]异物清除设备和包括异物清除设备的光学设备

摘要

本发明涉及异物清除设备和包括异物清除设备的光学设备。一种异物清除设备，其检测在光学低通滤波器410处激励m阶振动模式的弯曲振动时所检测到的振动的时间相位和在光学低通滤波器410处激励(m+1)阶振动模式的弯曲振动时所检测到的振动的时间相位之间生成多大的差。然后，所述异物清除设备基于所检测到的时间相位差计算在主驱动操作中使用的主驱动参数。

主权项

一种异物清除设备，包括：光学构件；压电元件，其被设置至所述光学构件；驱动控制单元，用于以第一驱动模式、第二驱动模式和第三驱动模式来驱动所述压电元件，其中，所述第一驱动模式用于激励所述光学构件的第一弯曲振动，所述第二驱动模式用于激励所述光学构件的第二弯曲振动，所述第三驱动模式用于同时激励所述第一弯曲振动和所述第二弯曲振动，所述第二弯曲振动具有与所述第一弯曲振动的阶次不同的阶次；振动检测单元，用于检测在所述驱动控制单元以所述第一驱动模式和所述第二驱动模式驱动所述压电元件时所述光学构件的振动；以及驱动参数生成单元，用于基于在所述驱动控制单元以所述第一驱动模式驱动所述压电元件时所检测到的所述光学构件的振动和在所述驱动控制单元以所述第二驱动模式驱动所述压电元件时所检测到的所述光学构件的振动之间的时间相位差，确定在所述驱动控制单元以所述第三驱动模式驱动所述压电元件时的驱动参数，其中，所述驱动控制单元使用通过所述驱动参数生成单元所确定的驱动参数，以所述第三驱动模式驱动所述压电元件。