[发明专利]静电致动器有效
申请号: | 201210068873.7 | 申请日: | 2012-03-15 |
公开(公告)号: | CN102674231A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 益永孝幸;山崎宏明 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐冰冰;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种静电致动器,该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置,具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部,支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。 | ||
搜索关键词: | 静电 致动器 | ||
【主权项】:
一种静电致动器,其特征在于,具备:基板;电极部,设在上述基板上;膜体部,与上述电极部对置设置,具有导电性;以及施力部,具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部,支承上述膜体部;上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态;上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。
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