[发明专利]一种多磁场的磁控溅射阴极

摘要

本发明公布了一种多磁场的磁控溅射阴极，其特点是应用若干个磁铁单元排列组合形成一个多磁场相互耦合的平面溅射阴极，并且磁铁单元的排列是沿着矩形阴极的长度方向。本发明相较于现有的技术，极大的提高了单个矩形平面阴极溅射系统的有效溅射时间和沉积距离，有效的改善平面阴极溅射镀膜的均匀性和提高平面靶材的利用率。整个发明设计简洁，制备工序简单，使平面阴极镀膜方式在工业生产中有了更大的应用领域。

主权项

一种多磁场的磁控溅射阴极，由阴极底板、同轴电缆、绝缘体、轭铁、磁铁矩阵、阴极主体、冷却单元、靶材和阳极罩组成其特征在于：绝缘体通过不锈钢螺丝固定于底板上；所述的磁铁矩阵和粘合在一起的轭铁组成磁场单元，并使用黄铜螺丝将其固定于阴极主体的后端；所述阴极主体前端开有进水槽和出水槽，组成冷却单元；阴极主体的后端同时又与绝缘体固定；所述的阳极置直接固定于阴极底板上；所述的同轴电缆则直接和阴极主体相连接，靶材则置于阴极主体前端。