[发明专利]一种多磁场的磁控溅射阴极

权利要求书

1.一种多磁场的磁控溅射阴极，由阴极底板、同轴电缆、绝缘体、轭铁、磁铁矩阵、阴极主体、冷却单元、靶材和阳极罩组成其特征在于：绝缘体通过不锈钢螺丝固定于底板上；所述的磁铁矩阵和粘合在一起的轭铁组成磁场单元，并使用黄铜螺丝将其固定于阴极主体的后端；所述阴极主体前端开有进水槽和出水槽，组成冷却单元；阴极主体的后端同时又与绝缘体固定；所述的阳极置直接固定于阴极底板上；所述的同轴电缆则直接和阴极主体相连接，靶材则置于阴极主体前端。

2.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的阴极底板采用高质量的316不锈钢材料加工而成，对整个阴极起一个支撑作用。

3.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的同轴电缆采用RG393型电缆线，该电缆采用7/0.79标准镀银铜作为内导体；7.21mm聚四氟乙烯作为绝缘体；8.71mm双层镀银铜网作为外导体；9.91mm FEP作为外绝缘层。

4.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的绝缘体使用厚度为70mm的聚四氟乙烯材料经加工而成。

5.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的轭铁材料为高质量的工业软铁DT4板材，根据磁场的设计要求，在其表面铣出高度不一的凸台作为磁铁的基础，达到高节磁场的目的。

6.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的磁铁矩阵由若干块磁铁排列组合而成。

7.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，具特征在于：所述的阴极主体使用高质量的真空无氧铜加工而成。该材料纯度为99.97％，氧含量小于等于0.003％，杂质总含量小于等于0.03％。

8.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的冷却单元由开在阴极主体前端的进水槽和出水槽组成。

9.根据权利要求1所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的阳极罩使用高质量的硬质铝材加工而成。

10.根据权利要求6所述的多磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述的磁铁则由钕铁硼金属间化合物组成，其主要成分是Nd₂Fe₁₄B。使用粉末冶金法成型并在特定方向上充磁至饱和。