[发明专利]基于光强探测的集成光波导微腔传感器无效
| 申请号： | 201210052575.9 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102636456A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓光;吴远大;王玥;张家顺;安俊明;王红杰;李建光;胡雄伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于光强探测的集成光波导微腔传感器，包括：一第一3dB光分束器，一第二3dB光分束器，所述第二3dB光分束器的光输入波导与第一3dB光分束器的第二输出波导连接；一传感微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第一光输出波导耦合；一样品槽，其用于容置传感微腔；一2×1光合束器，包括一第一输入光波导、一第二输入光波导和一输出光波导，所述2×1光合束器的第一输入光波导与传感微腔的另一侧耦合；一参考微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第二光输出波导耦合，另一侧与2×1光合束器的第二输入光波导耦合；所述2×1光合束器的输出光波导的输出光强与第一3dB光分束器的第一输出波导的输出光强的比值作为最终的传感信号。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 探测 集成 波导 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于光强探测的集成光波导微腔传感器，包括：一第一3dB光分束器，包括一输入波导、一第一输出波导和一第二输出波导；一第二3dB光分束器，包括一光输入波导、一第一光输出波导和一第二光输出波导，所述第二3dB光分束器的光输入波导与第一3dB光分束器的第二输出波导连接；一传感微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第一光输出波导耦合；一样品槽，其用于容置传感微腔；一2×1光合束器，包括一第一输入光波导、一第二输入光波导和一输出光波导，所述2×1光合束器的第一输入光波导与传感微腔的另一侧耦合；一参考微腔，其一侧与第二3dB光分束器的第二光输出波导耦合，另一侧与2×1光合束器的第二输入光波导耦合；所述2×1光合束器的输出光波导的输出光强与第一3dB光分束器的第一输出波导的输出光强的比值作为最终的传感信号。
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