[发明专利]确定光学测试表面的形状的方法和设备有效
| 申请号： | 201210040337.6 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN102645181A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | B.多班德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种确定光学测试表面(14)的形状的方法和设备，所述方法包括步骤：通过适配光学部件(20)使测量光束(30)的波前适配于光学测试表面(14)的期望形状，并且通过经适配的测量光束对光学测试表面(14)的形状进行干涉测量；将经适配的测量光束以不同入射角辐射到光学测试表面(14)上，并且在测量光束与光学测试表面(14)相互作用之后，分别测量测量光束的波前；根据针对单独入射角所测量的波前，确定适配光学部件对干涉测量结果的影响，以及通过从干涉测量结果中移除所确定的适配光学部件(20)的影响，确定所述光学测试表面(14)的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 光学 测试 表面 形状 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种确定光学测试表面的形状的方法，包括步骤：通过适配光学部件使测量光束的波前适配于所述光学测试表面的期望形状，并且通过经适配的测量光束对所述光学测试表面的形状进行干涉测量，将所述经适配的测量光束以不同入射角辐射到所述光学测试表面上，并且在所述测量光束与所述光学测试表面相互作用之后，分别测量所述测量光束的波前，根据针对单独入射角所测量的波前，确定所述适配光学部件对干涉测量结果的影响，以及通过从所述干涉测量结果中移除所确定的适配光学部件的影响，确定所述光学测试表面的形状。
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