[发明专利]流体控制装置和压力控制装置无效
| 申请号： | 201210033527.5 | 申请日： | 2012-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102644787A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 泷尻兴太郎;米田丰 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | F16K31/02 | 分类号： | F16K31/02 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供流体控制装置和压力控制装置，即使阀控制器采用了数字控制，也能实现与以往的使用模拟控制的情况相近的响应性。流体控制装置(100)包括：流体控制阀(2)，设置在流体流过的流道(5)上；流体测量部(1)、(3)，测量与所述流体相关的物理量；以及阀控制器(4)，根据由所述流体测量部(1)测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，通过数字控制控制所述流体控制阀(2)的开度，所述阀控制器(4)包括：操作量计算部(41)，对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀(2)的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部(42)，输出通过速度型数字计算对输入的值补偿相位延迟后得到的值。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 装置 压力 | ||
【主权项】：
一种流体控制装置，其包括：流体控制阀，设置在流体流过的流道上；流体测量部，测量与所述流体相关的物理量；以及阀控制器，根据由所述流体测量部测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，通过数字控制来控制所述流体控制阀的开度，所述流体控制装置的特征在于，所述阀控制器包括：操作量计算部，对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部，输出通过速度型数字计算对输入的值补偿相位偏差后得到的值。
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