[发明专利]流体控制装置和压力控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其包括：流体控制阀，设置在流体流过的流道上；流体测量部，测量与所述流体相关的物理量；以及阀控制器，根据由所述流体测量部测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，通过数字控制来控制所述流体控制阀的开度，

所述流体控制装置的特征在于，

所述阀控制器包括：操作量计算部，对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部，输出通过速度型数字计算对输入的值补偿相位偏差后得到的值。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，在所述操作量计算部中使用的所述规定的计算是PID计算。

3.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，在所述操作量计算部中使用的所述规定的计算是速度型数字计算。

4.一种压力控制装置，其特征在于包括：

流体控制阀，设置在流体流过的流道上；

压力传感器，测量所述流体的压力；以及

阀控制器，控制所述流体控制阀的开度，使得由所述压力传感器测量的压力测量值变成预先设定的设定值，其中，

所述阀控制器包括：操作量计算部，对输入的值进行规定的计算从而计算出与所述流体控制阀的开度的操作量相关的值；以及相位补偿部，输出通过数字控制对输入的值补偿相位偏差后得到的值。

5.根据权利要求4所述的压力控制装置，其特征在于，所述相位补偿部通过速度型数字计算来补偿相位偏差。

6.根据权利要求4所述的压力控制装置，其特征在于，所述操作量计算部通过PID计算来计算出与所述操作量相关的值。

7.根据权利要求4所述的压力控制装置，其特征在于，所述操作量计算部通过速度型数字计算来计算出与操作量相关的值。

8.一种流体控制装置，其特征在于包括：

流体测量部，设置在流体流过的流道上，测量与所述流体相关的物理量；

流体控制阀，设置在所述流道上；以及

阀控制机构，根据由所述流体测量部测量的物理量的测量值与预先设定的设定值的偏差，控制所述流体控制阀的开度，其中，

所述阀控制机构包括：

操作量计算部，该操作量计算部是数字控制器，该数字控制器对输入的值进行规定的计算并输出与所述流体控制阀的开度的操作量相关的值；以及

相位补偿部，该相位补偿部是模拟控制器，该模拟控制器对输入的值补偿相位偏差并输出补偿相位偏差后得到的值。

9.根据权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，所述操作量计算部通过PID计算来计算出与所述操作量相关的值。

10.根据权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，所述操作量计算部通过速度型数字计算来计算出与所述操作量相关的值。