[发明专利]光学元件表面灰尘位置测试方法及装置无效
| 申请号： | 201210028688.5 | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN103245286A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陈永权;李坤;段亚轩;赵建科;赛建刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/94 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学元件表面灰尘位置测试方法及装置，该测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。本发明提供了一种具有定位准确，工作效率高，自动化程度高，使用方便的光学元件表面灰尘位置测试方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 灰尘 位置 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)对待测光学元件的表面注入激光；2)监测激光通过待测光学元件后是否产生衍射环确定待测光学元件表面是否有灰尘，若有衍射环，则进行步骤3)；若没有衍射环，则结束测试过程；3)通过判读软件判读衍射环中心与所在整个光斑的位置确定待测光学元件表面灰尘的坐标位置。
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