[发明专利]光学元件表面灰尘位置测试方法及装置

权利要求书

1.一种光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

1)对待测光学元件的表面注入激光；

2)监测激光通过待测光学元件后是否产生衍射环确定待测光学元件表面是否有灰尘，若有衍射环，则进行步骤3)；若没有衍射环，则结束测试过程；

3)通过判读软件判读衍射环中心与所在整个光斑的位置确定待测光学元件表面灰尘的坐标位置。

2.根据权利要求1所述的光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述待测光学元件是一个或多个。

3.根据权利要求2所述的光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述待测光学元件是多个时，所述步骤3)的具体实现方式是：

3.1)调整监测面与待测光学元件之间的距离；

3.2)观察监测面上衍射环的变化情况；当衍射环逐渐变小时，监视面逐渐靠近灰尘所落待测光学元件表面；当衍射环消失时，监视面与灰尘所落光学元件表面重合；

3.3)通过判读软件判读监测面上衍射环所在整个光斑的位置确定待测光学元件表面灰尘的坐标位置。

4.根据权利要求3所述的光学元件表面灰尘位置测试方法，其特征在于：所述步骤3.1)中调整监测面与待测光学元件之间的距离至监测面与某个待测光学元件表面重合。

5.一种基于权利要求1-4任一权利要求所述的光学元件表面灰尘位置测试方法的测试装置，其特征在于：所述测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；所述激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。

6.根据权利要求5所述的光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于：所述测试单元包括用于调整CCD监视面与待测光学元件之间距离的变焦镜头以及与变焦镜头组合在一起的CCD；所述激光器、取样单元以及变焦镜头设置在同一光路上。

7.根据权利要求6所述的光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于：所述取样单元是取样镜或取样镜组。

8.根据权利要求5或6或7所述的光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于：所述光学元件表面灰尘位置测试装置还包括与测试单元相连接的采集控制计算机。