[发明专利]便携式真空规校准系统及方法无效
| 申请号： | 201210027997.0 | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN102564696A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文 | 申请（专利权）人： | 江苏东方航天校准检测有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215121 江苏省苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及便携式真空规校准系统及方法，用于较宽量程范围内现场或实验室真空规的校准或测试，属于测量技术领域。包括机械泵、第一真空阀门、分子泵、第二真空阀门、第一真空规、第二真空规、第三真空规、阀门、第四真空规、小孔、微调真空阀门、气源、真空室和第五真空规；整个系统之间采用管路连接。本发明采用参考标准直接比对校准真空规，当被校准范围在10-1～105Pa时，采用电容薄膜规作为参考标准，当校准范围在10-6～10-2Pa时，采用B-A型副标准电离规作为参考标准，校准过程根据被校准范围选择合适的参考标准并确定真空室需要的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 便携式 真空 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
便携式真空规校准系统，其特征在于：包括机械泵(1)、第一真空阀门(2)、分子泵(3)、第二真空阀门(4)、第一真空规(5)、第二真空规(6)、第三真空规(7)、阀门(8)、第四真空规(9)、小孔(10)、微调真空阀门(11)、气源(12)、真空室(13)和第五真空规(14)；机械泵(1)与第一真空阀门(2)的一端连接，第一真空阀门(2)的另一端与分子泵(3)的一端连接，分子泵(3)的另一端与第二真空阀门(4)的一端连接，第二真空阀门(4)的另一端与真空室(13)连接；真空室(13)还与第一真空规(5)、第二真空规(6)、第四真空规(9)的一端、第五真空规(14)以及小孔(10)的一端连接；第四真空规(9)的另一端与阀门(8)的一端连接，阀门(8)的另一端与第三真空规(7)连接；小孔(10)的另一端与微调真空阀门(11)的一端连接，微调真空阀门(11)的另一端与气源(12)连接；整个系统的重量小于40公斤；整个系统之间采用管路连接。
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