[发明专利]一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台有效
| 申请号： | 201210024607.4 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103246168A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陈军;袁志扬;魏巍;郭琳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台，包括Y向滑台、Y向导轨和交叉伸缩连杆机构，Y向滑台通过气浮轴承设置在Y向导轨上，Y向滑台由滑台电机驱动在Y向与硅片台保持同步运动，线缆设施经由所述Y向滑台沿交叉伸缩连杆机构输送到硅片台上，交叉伸缩连杆机构包括交叉伸缩连杆和驱动器，交叉伸缩连杆一端连接所述Y向滑台，另一端通过线缆设施连接于硅片台，驱动器用于驱动交叉伸缩连杆沿X向运动，从而带动线缆设施沿X向运动。本发明的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，实现对线缆台的主动控制和线缆台对硅片台在X-Y平面的跟随运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 硅片 主动 驱动 线缆 | ||
【主权项】：
一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，包括Y向滑台、Y向导轨和交叉伸缩连杆机构，所述Y向滑台通过气浮轴承设置在所述Y向导轨上，所述Y向滑台由滑台电机驱动在Y向与硅片台保持同步运动，所述线缆设施经由所述Y向滑台沿所述交叉伸缩连杆机构输送到所述硅片台上，交叉伸缩连杆机构包括交叉伸缩连杆和驱动器，所述交叉伸缩连杆一端连接所述Y向滑台，另一端通过线缆设施连接于硅片台，所述驱动器用于驱动所述交叉伸缩连杆沿X向运动，从而带动所述线缆设施沿X向运动。
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