[发明专利]滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备

摘要

本发明提供了一种滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备。该滤光器包括：第一基板；第二基板；第一反射膜，设置在第一基板上；第二反射膜，设置在第二基板上；第一固定电极及第二固定电极，设置在第一基板上，在俯视图中位于第一反射膜的周围；以及第一可变电极和第二可变电极，设置在第二基板上，与第一固定电极及第二固定电极相向，其中，第一可变电极和第二可变电极以成为以反射膜为中心的中心对称构造的方式形成有第二可变电极的狭缝部。

主权项

一种滤光器，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相向；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，与所述第一反射膜相向；第一固定电极，设置在所述第一基板上，在俯视图中形成在所述第一反射膜的周围；第二固定电极，设置在所述第一基板上，在俯视图中形成在所述第一固定电极的周围；引出配线，与所述第一固定电极连接，向离开所述第一反射膜的方向引出；第一可变电极，设置在所述第二基板上，与所述第一固定电极相向；以及第二可变电极，设置在所述第二基板上，与所述第二固定电极相向，其中，所述第二可变电极具有多个狭缝部，所述第二可变电极为以反射膜为中心的中心对称构造，在从所述第二基板的厚度方向观察的俯视图中，所述引出配线被配置为通过所述狭缝部。