[发明专利]滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种滤光器、滤光器模块、分析设备及光学设备。 

背景技术

已提出一种使透射波长可变的干涉滤波器(专利文献1)。如专利文献1的图3所示，其具有相互平行地保持的一对基板、在该一对基板上以相互相向且具有一定间隔的间隙的方式形成的一对多层膜(反射膜)、以及用于控制间隙的一对静电驱动电极。这样的波长可变干涉滤波器能够通过由施加至静电驱动电极的电压产生的静电引力来控制间隙，使透射光的中心波长变化。 

[专利文献1]：特开平11-142752号公报 

然而，这样的波长可变干涉滤波器因由噪声等导致的驱动电压的变化，难以高精度地获得间隙量。 

虽然列举了降低电极的灵敏度以高精度地获得间隙量的方法，但是在这样的情况下，由于内侧的电极部的引出部在外侧的电极部中重叠，在该部分中产生了静电力，所以存在作用有不均匀的力而使得间隙量的精度降低的问题。 

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种高精度地获得间隙量的滤光器、滤光器模块、分析设备以及光学设备。 

本发明是为解决上述技术问题的至少一部分而实施的发明，并可作为以下实施方式或应用例来实现。 

[应用例1]根据本应用例的滤光器，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相向；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，并与所述第一反射膜相向；第一固定电极，设置在所述第一基板上，在俯视图中形成在所述第一反射膜的周围；第二固定电极，设置在所述第一基板上，在俯视图中形成在所述第一固定电极的周围；引出配线，与所述第一固定电极连接，向离开所述第一反射膜的方向引出；第一可变电极，设置在所述第二基板上，与所述第一固定电极相向；以及第二可变电极，设置在所述第二基板上，与所述第二固定电极相向，其中，所述第二可变电极具有多个狭缝部，所述第二可变电极为以反射膜为中心的中心对称构造，在从所述第二基板的厚度方向观察的俯视图中，所述引出配线以通过所述狭缝部的方式被配置。 

根据该构造，滤光器具有设置在第二基板上且与第一固定电极相向的第一可变电极以及设置在第二基板上且与第二固定电极相向的第二可变电极，第二可变电极具有多个狭缝部，且为以反射膜为中心的中心对称构造。因此，作用于第二可变电极的膜应力、驱动时的静电力成为以反射膜为中心对称，因此可防止反射膜的挠曲、弯曲等，能够更高精度地获得间隙量。 

[应用例2]根据上述应用例的滤光器，在所述第二可变电极的外周侧设置第三可变电极，所述第三可变电极为以反射膜为中心的中心对称，所述第三可变电极的狭缝部的数量与所述第二可变电极的狭缝部的数量相同或者更多。 

根据该构造，滤光器设置有第三可变电极和第三固定电极，且第三可变电极为以反射膜为中心的中心对称的构造。因此，电极数量增加，可以高精度地获得间隙量，此外，各可变电极为以反射膜为中心的中心对称构造，所以可防止反射膜的挠曲、弯曲等，从而能够更高精度地获得间隙量。 

[应用例3]根据上述应用例的滤光器，期望所述第一固定电极和所述第二固定电极电性独立，所述第一可变电极和所述第二可变电极通过连接部电性连接。 

根据该构造，通过在所述第一可变电极的外周侧设置第二可变电极，并在所述第二可变电极中包含狭缝部，能够使所述第一固定电极的引出配线不与所述第二可变电极相向。因此，由于不产生不需要的静电力，所以能够高精度地获得间隙量。 

[应用例4]根据本应用例的滤光器模块，包括：上述滤光器；以及光接收元件，接收透射过所述滤光器的光。 

根据该构造，所述滤光器模块具备能够高精度地获得间隙量的滤光器，从而能够获得特性良好的滤光器模块。 

[应用例5]根据本应用例的分析设备，包括：上述滤光器。 

根据该构造，所述分析设备具备能够高精度地获得间隙量的滤光器，从而能够获得特性良好的分析设备。 

[应用例6]根据本应用例的光学设备，包括：上述记载的滤光器。 

根据该构造，光学设备具备能够高精度地获得间隙量的滤光器，从而能够获得特性良好的光学设备。 

附图说明

图1是示出作为本发明的一实施例的滤光器的电压未施加状态的截面图。 

图2是示出图1所示的滤光器的电压施加状态的截面图。 

图3A是下部电极的俯视图，图3B是上部电极的俯视图。 

图4是从第二基板一侧观察下部电极和上部电极的重叠状态的俯视图。