[发明专利]激光光线照射机构及激光加工装置

摘要

本发明提供激光光线照射机构及激光加工装置。激光束照射机构，包括：激光束振荡器、聚光透镜以及配置于激光束振荡器和聚光透镜之间的输出调整单元。输出调整单元包括：1/2波长板、具有第一偏振分束膜和第二偏振分束膜的棱镜、与第一偏振分束膜相对配置并具有压电致动器的光路长度调整单元、具有与第二偏振分束膜相对配置并在S偏振成分与P偏振成分之间生成第二相位差(β)的偏振成分合成器、将由偏振成分合成器合成的激光束分割为导入该聚光透镜的光路和导入光束截止器的光路的偏振光束分割单元、和对施加给压电致动器的电压进行控制以将由偏振成分合成器合成的激光束的S偏振成分与P偏振成分间的相位差(α+β)控制在0度至180度之间的控制器。

主权项

一种激光束照射机构，其是激光束的照射机构，该激光束照射机构包括：激光束振荡器，其振荡出激光束；聚光透镜，其会聚从该激光束振荡器振荡出的激光束而进行照射；以及输出调整单元，其配置于该激光束振荡器与该聚光透镜之间，调整从该激光束振荡器振荡出的激光束的输出，上述输出调整单元包括：1/2波长板，其使从该激光束振荡器振荡出的线偏振的激光束的偏振面旋转45度；棱镜，其使偏振面通过该1/2波长板旋转了45度的激光束入射，并具有分别反射S偏振成分而使P偏振成分透过的第一偏振分束膜和第二偏振分束膜；光路长度调整单元，其具有第一反射镜和压电致动器，该第一反射镜与该第一偏振分束膜相对配置并具有对透过了该第一偏振分束膜的激光束的P偏振成分进行反射的镜面，该压电致动器安装于该第一反射镜并与所施加的电压对应地调整该第一反射镜的该镜面与该第一偏振分束膜之间的间隔，该光路长度调整单元在被该第一偏振分束膜反射的激光束的S偏振成分和被该第一反射镜的该镜面反射的P偏振成分之间生成第一相位差(α)；偏振成分合成单元，其具有第二反射镜，该第二反射镜与该第二偏振分束膜相对而隔开预定间隔配置，并具有反射被该第一反射镜的该镜面反射并透过了该第二偏振分束膜的P偏振成分的镜面，该偏振成分合成单元在被该第一偏振分束膜反射并被该第二偏振分束膜反射的S偏振成分与透过了该第二偏振分束膜并被该第二反射镜的该镜面反射的P偏振成分之间生成第二相位差(β)；光束分割单元，其具有第三偏振分束膜，通过该第三偏振分束膜将由该偏振成分合成单元合成的激光束分割为朝向该聚光透镜的光路和朝向光束截止器的光路；以及控制单元，其对施加给该光路长度调整单元的该压电致动器的电压进行控制，调整该第一反射镜的该镜面与该第一偏振分束膜之间的间隔，由此在0度至180度之 间对由该偏振成分合成单元合成的激光束的S偏振成分与P偏振成分之间的第三相位差(α+β)进行控制。