[发明专利]一种多弧离子镀镀膜的方法无效
| 申请号： | 201210023887.7 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN102534514A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吴化;王淮;宫文彪;宋力;中山弘建 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王薇 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多弧离子镀镀膜的方法，其特征在于：在多弧源发射等离子体的同时，在真空室内设置空心阴极装置，用空心阴极电子枪向阳极发射高能等离子体电子束，使等离子体电子束与多弧源发射的等离子体进行相互交叉运动，其空心阴极电子枪发射等离子体电子束的工艺参数为：空心阴极电流70~220A；占空比10~90%；脉冲偏压幅值-50~-1000V；氮气分压：1×10-1~5×10-1Pa；氩气分压：2×10-1~8×10-1Pa。其可以在不降低原多弧离子镀沉积效率的同时，明显减小并减少涂层表面的大颗粒缺陷，从而提高了涂层的质量和使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种多弧离子镀镀膜的方法，其特征在于：在多弧源发射等离子体的同时，在真空室内设置空心阴极装置，用空心阴极电子枪向阳极发射高能等离子体电子束，使等离子体电子束与多弧源发射的等离子体进行相互交叉运动，其空心阴极电子枪发射等离子体电子束的工艺参数为：空心阴极电流70~220A；占空比10~90%；脉冲偏压幅值‑50~‑1000V；氮气分压：1×10‑1~5×10‑1Pa；氩气分压：2×10‑1~8×10‑1Pa。
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