[发明专利]具有失准检测的光编码器和与其关联的调整方法

摘要

一种光编码器包括标尺，具有在测量轴方向上以预定间距形成的衍射光栅；探头，能够相对于所述标尺而相对移动，所述探头包括用光照射所述标尺的光源单元、以及接收以不同相位由所述标尺的衍射光栅反射或通过所述标尺的衍射光栅透射的光的多个接收单元；以及信号处理设备，对从所述探头的接收单元输出的光接收信号执行信号处理，以产生正交差分信号。所述信号处理设备计算对应于所述正交差分信号的李萨如半径的姿态监控信号，以便检测所述探头相对于所述标尺的失准。

主权项

光编码器，包括：标尺，具有在测量轴方向上以预定间距形成的衍射光栅；探头，能够相对于所述标尺而相对移动，所述探头包括用光照射所述标尺的光源单元、以及接收以不同相位由所述标尺的衍射光栅反射或通过所述标尺的衍射光栅透射的光的多个相位检测接收单元，所述探头还包括接收由所述标尺的衍射光栅反射或通过所述标尺的衍射光栅透射的光的姿态监控接收单元；以及信号处理设备，对从所述探头的相位检测接收单元输出的光接收信号执行信号处理，以产生正交差分信号，其中所述信号处理设备基于所述正交差分信号的李萨如半径以及从所述姿态监控接收单元输出的信号计算姿态监控信号，以便检测所述探头相对于所述标尺的失准，其中，所述信号处理设备使所述李萨如半径或者所述李萨如半径的平方值近似于特征函数，并且获得所述特征函数的反函数或微分函数作为偏转方向的姿势监控信号。