[发明专利]一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺

摘要

一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺，包括以下步骤保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬（1）进行包裹，只露出需要进行加工的3个第一边接口（1-1）、第二边接口（1-2）、第三边接口（1-3）和内衬上用于加工时定位用的沟（2），该修复工艺只针对以生泄漏的3个凸出接口进行处理，不影响阴极内衬上的其它无关特征和尺寸。通过在端面添加密封圈和改用螺纹连接，部件的密封性能比当初的焊接结构更加可靠，并且具有重复修复的特点。为P5000刻蚀机用户节约了生产成本。

主权项

一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺，包括以下步骤：A、保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬（1）进行包裹，只露出需要进行加工的3个第一边接口（1‑1）、第二边接口（1‑2）、第三边接口（1‑3）和内衬上用于加工时定位用的沟（2）；B、机械加工，以出水口为中心，阴极内衬(1)的顶面为基准，加工与出水口同心的φ43深2.5mm的沉头，以φ43的沉头底面为基准，向下M33X1.5的螺纹，螺纹深度9mm，以沉孔底面为基准，沉孔底面上加工与螺纹孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸φ36mm，宽2mm深，1.3mm；C、安装替换连接头为：打磨步骤b加工出的密封沟槽，要求底面平面度达到0.02，表面粗糙度达到0.8，安装密封圈(3)，在处理好的沟槽内放置密封圈(3)，确定替换连接头底部开槽位置，把替换连接头通过M33x1.5螺柱(4)安装在阴极内衬(1)上，并根据阴极内衬(1)的液体通道的位置在替换接头上做标示，用8mm平底铣刀在替换接头上开出深度为10mm的沟槽，在阴极内衬的内螺纹和圆台上部端面上均匀涂抹AB胶，安装已开槽的替换连接头（5），把安装好的阴极内衬（1）放入烤箱内； D、机械加工为：用步骤b相同的定位和固定方法，精密加工替换连接头；E、检测密封性能为：用标准堵头密闭3个凸台接口中的2个，第3个接与液体压力测漏仪相连接，对此压力系统施加1MPa压力，若系统可保持压力1小时不变，则表示阴极内衬不泄漏；F、表面处理为：按照原零件的技术要求要标准对零件进行表面阳极氧化处理，以提高阴极内衬的绝缘性能和耐腐蚀性能。