[发明专利]一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺

说明书

 

技术领域

本发明是利用精密机械加工技术并结合特定的工艺安排对损坏的半导体设备中某些关键零部件进行翻新、返修的方法，特别涉及一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺。

 

背景技术

作为半导体设备中关键的零部件，直冷式阴极内衬工作过程中用三个快速接头与位于内衬顶面的3个凸出接口进行联接，并利用接口根部的3个小平面与快速接头上对应的平面接触进行定位，以保证装配时的精确和快速安装。因与快速接头的接触面积小，直冷式阴极内衬体积、重量大，使直冷式阴极内衬一旦有其中1个接触平台出现不平衡就容易造成密封性能白损坏。工作环境的特性，对直冷式阴极内衬的密封性能和耐腐蚀性能都有严格的要求。因其高难度的制作工艺和高要求的制作标准必然导致内衬损坏后更换新品的高成本。

 

发明内容

本发明的目的是对上述问题提供一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺。

本发明的目的是以如下方式实现的：一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺，包括以下步骤：

A、保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬进行包裹，只露出需要进行加工的3个边接口和内衬上用于加工时定位用的沟；

B、机械加工，以出水口为中心，阴极内衬的顶面为基准，加工与出水口同心的φ43深2.5mm的沉头，以φ43的沉头底面为基准，向下M33X1.5的螺纹，螺纹深度9mm，以沉孔底面为基准，沉孔底面上加工与螺纹孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸φ36mm，宽2mm深，1.3mm；

C、安装替换连接头为：打磨步骤b加工出的密封沟槽，要求底面平面度达到0.02，表面粗糙度达到0.8，安装密封圈，在处理好的沟槽内放置密封圈，确定替换连接头底部开槽位置，把替换连接头通过M33x1.5螺柱安装在阴极内衬上，并根据阴极内衬的液体通道的位置在替换接头上做标示，用8mm平底铣刀在替换接头上开出深度为10mm的沟槽，在阴极内衬的内螺纹和圆台上部端面上均匀涂抹AB胶，安装已开槽的替换连接头，把安装好的阴极内衬放入烤箱内； 

D、机械加工为：用步骤b相同的定位和固定方法，精密加工替换连接头；

E、检测密封性能为：用标准堵头密闭3个凸台接口中的2个，第3个接与液体压力测漏仪相连接，对此压力系统施加1MPa压力，若系统可保持压力1小时不变，则表示阴极内衬不泄漏；

F、表面处理为：按照原零件的技术要求要标准对零件进行表面阳极氧化处理，以提高阴极内衬的绝缘性能和耐腐蚀性能。

更进一步的说，所述步骤步骤C中，烤箱内，的温度保持在80摄氏度，并且保温1个小时。

本发明的优点: 该修复工艺只针对以生泄漏的3个凸出接口进行处理，不影响阴极内衬上的其它无关特征和尺寸。通过在端面添加密封圈和改用螺纹连接，部件的密封性能比当初的焊接结构更加可靠，并且具有重复修复的特点。为P5000刻蚀机用户节约了生产成本。

 

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1为本发明的结构示意图， 

图2为修复过程中装配位置示意图。

具体实施方式：

见图1和图2，一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺，包括以下步骤：

A、保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬1进行包裹，只露出需要进行加工的3个第一边接口1-1、第二边接口1-2、第三边接口1-3和内衬上用于加工时定位用的沟2；

B、机械加工，以出水口为中心，阴极内衬1的顶面为基准，加工与出水口同心的φ43深2.5mm的沉头，以φ43的沉头底面为基准，向下M33X1.5的螺纹，螺纹深度9mm，以沉孔底面为基准，沉孔底面上加工与螺纹孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸φ36mm，宽2mm深，1.3mm；